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2022
10-21

天津这十年 • 生态环境 “点对点”助力“芯增长”--危险废物监管经验做法

  原标题:天津这十年 • 生态环境 “点对点”助力“芯增长”--危险废物监管经验做法

  2021年以来,天津市持续探索开展危险废物“点对点”定向利用危险废物经营许可豁免管理试点制度建设,印发了《天津市危险废物“点对点”资源化利用试点工作实施方案》(以下简称“实施方案”),坚持服务与监管并重,全力支持芯片制造龙头企业“点对点”资源化处置利用危险废物,推动相关企业在固废领域减污降碳、协同增效,助力天津“芯增长”。

  中芯国际集成电路制造(天津)有限公司(以下简称“中芯国际”)作为世界领先的集成电路晶圆代工企业之一,正在扩建的T3无尘生产线项目投产后,将成为全球最大的8英寸晶圆生产基地。产能攀升、效益向好的同时,该公司半导体芯片蚀刻清洗工序中产生的废硫酸(危险废物代码:HW34 398-007-34)也将从559.7吨/年骤增到1300吨/年左右。废硫酸一直作为危险废物进行无害化处置,处置成本增高、环境风险加大成为中芯国际乃至天津集成电路产业绿色发展进程中急需解决的难题之一。

  天津市生态环境局获悉中芯国际危险废物处置利用需求后,主动服务、纾困解难。针对该公司半导体芯片蚀刻清洗工序中废硫酸产生量大、品质稳定,且相比其他工业废硫酸具备浓度高、纯度好等特点,将该公司纳入全市“点对点”资源化利用试点工作重点服务对象,积极引导无机酸制造行业企业天津环渤新材料有限公司(以下简称“环渤公司”)对接中芯国际,联合开展“点对点”资源化利用试点申报工作。

  环渤公司主要从事硫酸、染料等化工产品的生产销售,硫磺制酸生产线对原料硫磺等消耗量较大、生产成本偏高,该公司采用废硫酸回收工艺回收废硫酸,生产工业硫酸。中芯国际蚀刻清洗工序中的废硫酸恰好可以作为环渤公司的原料,不仅降低硫酸产品生产成本,也可精准解决中芯国际废硫酸处置出路难、环境风险大、费用高的现状。为此,环渤公司充分借助天津试点政策,围绕技术工艺、污染防治、运输贮存、突发事件应急等,制定了环境风险可控的实施方案。

  经专家评审,中芯国际蚀刻清洗工序中产生的废硫酸能够作为环渤公司产品原料使用,生产的工业硫酸产品质量达标,满足减量化、资源化和无害化原则,废硫酸回收再生过程环境风险可控,两家企业符合试点申请条件,通过技术审核。

  通过“点对点”资源化利用危险废物,产废单位中芯国际废硫酸处理处置成本将下降30%以上,利用单位环渤公司也将同步减少硫磺等原料消耗,实现生产成本大幅降低,形成了危险废物产废单位、利用单位互利共赢,生态和经济效益双提升的处置利用模式,为天津下一步深入推广“点对点”资源化利用试点工作提供了引领和借鉴。


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